闫鹏勋
【姓名】 闫鹏勋
【职称】
【研究领域】 工业通用技术及设备;物理学;无机化工;
【研究方向】
【发表文献关键词】 高能量密度等离子体,氮化硼,簿膜,氮化钛薄膜,GCr15钢,等离子体,立方氮化硼薄膜,脉冲等离子,体室,氮化钛,氮化,钛薄膜,六方氮化硼,物理研究所,钛膜,立方氮化硼,GCrl5,脉冲等离子体,硅衬底...
【工作单位】 中国科学院物理研究所
【曾工作单位】 中国科学院物理研究所;
【所在地域】 北京
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[1]闫鹏勋,杨思泽,李兵,陈熙琛.用高能量密度等离子体在室温下制备氮化钛薄膜[J]科学通报.1994,(17)
[2]闫鹏勋,杨思泽,李兵,陈熙琛.立方氮化硼薄膜的脉冲等离子体室温生长[J]科学通报.1995,(05)
[3]闫鹏勋,杨思泽,李兵,陈熙琛.Titanium nitride deposition by high-power density plasma at room temperature[J]Chinese Science Bulletin.1995,(04)
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