顾文琪
【姓名】 顾文琪
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 坐标转换,电子束曝光,蒙特卡罗法,散射电子,输运,坐标系,转换方程,随动坐标系,Monte,坐标,电子散射,模拟效率,散射矢量,PMMA-S,矢量转换,静态,乘法运算,矩阵方程,Carlo方法,子中心,
【工作单位】 中国科学院微电子研究所
【曾工作单位】 中国科学院微电子研究所;
【所在地域】 北京
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[1]任黎明,陈宝钦,谭震宇,顾文琪.一种新的散射电子空间输运坐标转换方法[J]光电工程.2002,(03)
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