徐联
【姓名】 徐联
【职称】 研究员;
【研究领域】 无线电电子学;工业通用技术及设备;自动化技术;
【研究方向】 硅微器件、声表面滤波器的设计
【发表文献关键词】 体声波,换能器,叉指,膜,变形,应力,叉指换能器,电容式传声器,MEMS器件,多晶硅薄膜,磷硅玻璃牺牲层,硅微电容传声器,振动膜,转换损耗,声学微电子机械系统,圆型振动膜,T形结构,换能,离子束刻蚀,...
【工作单位】 中国科学院声学研究所
【曾工作单位】 中国科学院声学研究所;
【所在地域】 北京
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中国期刊全文数据库    共找到8篇
[1]李俊红;徐联;解述;.不同厚度ZnO薄膜取向和应力的研究[J]压电与声光.2009,(02)
[2]李俊红;汪承灏;黄歆;徐联;.PZT薄膜的制备及其与MEMS工艺的兼容性[J]半导体学报.2006,(10)
[3]潘昕;汪承灏;徐联;魏建辉;.硅微电容传声器的防粘连结构[J]传感技术学报.2006,(05)
[4]田静;汪承灏;徐联;乔东海;马军;郝震宏;魏建辉;.圆形振动膜硅微电容传声器[J]传感技术学报.2006,(05)
[5]李俊红;汪承灏;徐联;.衬底和O_2/Ar气体比例对ZnO薄膜结构及性能的影响[J]功能材料.2008,(01)
[6]徐方迁,徐联,何世堂.T形结构在位测量薄膜中残余张应力的理论研究[J]半导体学报.2004,(05)
[7]乔东海,田静,徐联,汪承灏.一种以多晶硅为振动膜的MEMS传声器研制[J]中国机械工程.2005,(14)
[8]徐联,周献文,汪承灏.高频沟槽叉指体声波换能器[J]声学学报.1993,(02)
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中国重要会议全文数据库    共找到10篇
[1]田静;汪承灏;徐联;何世堂;李晓东;刘忠立;.硅微传声器[A].中国声学学会2002年全国声学学术会议论文集.2002-09-01
[2]徐联;刘明华;刘焕章;解述;李晓东;马军;.硅微电容式传声器的制备[A].中国声学学会2002年全国声学学术会议论文集.2002-09-01
[3]乔东海;田静;徐联;汪承灏;.一种以多晶硅为振动膜的MEMS传声器研制[A].中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集（二）.2005-08-01
[4]田静;汪承灏;徐联;乔东海;马军;魏建辉;.硅微传声器研究进展[A].中国声学学会2006年全国声学学术会议论文集.2006-10-01
[5]李俊红;徐联;汪承灏;.PZT压电硅微传声器的设计与制备[A].中国声学学会2006年全国声学学术会议论文集.2006-10-01
[6]李剑成;汪承灏;徐联;田静;.活塞式硅微电容传声器设计[A].中国声学学会2006年全国声学学术会议论文集.2006-10-01
[7]潘昕;汪承灏;徐联;魏建辉;.防粘连硅微电容传声器[A].2006’和谐开发中国西部声学学术交流会论文集.2006-08-01
[8]刘梦伟;汪承灏;李俊红;徐联;马军;.基于PZT薄膜面内极化工作的硅微传声器设计与制作[A].2008年全国声学学术会议论文集.2008-10-01
[9]马军;张晓辉;汪承灏;徐联;田静;.振动膜外围采用边缘开槽的硅微电容传声器研究[A].2008年全国声学学术会议论文集.2008-10-01
[10]李俊红;汪承灏;刘梦伟;徐联;.适用于压电硅微传声器的PZT压电薄膜的研制[A].2008年全国声学学术会议论文集.2008-10-01
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