郑宜波
【姓名】 郑宜波
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 微探针,原子力显微镜,键合技术,阳极键合,硼硅玻璃,硅外延层,介质膜,排斥力,漏区,原子,硼硅,外延层,结隔离,腐蚀掉,绝缘衬底,埋层,顶视,玻璃片,闸流管,异质外延,
【工作单位】 中国科学院上海冶金研究所
【曾工作单位】 中国科学院上海冶金研究所;
【所在地域】
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[1]何德湛,郑宜波,张敏.原子力显微镜微探针制造及阳极键合技术[J]半导体技术.1997,(02)
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