郑延芳
【姓名】 郑延芳
【职称】
【研究领域】 物理学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 闪耀光栅,反应离子束,光刻胶,微细加工,刻蚀速率,光栅,掩膜,闪耀角,离子束刻蚀,浮雕,曝光量,全息光栅,刻蚀时间,入射角,截面形状,离子束,特征曲线,光栅形状,剖面形状,束流密度,
【工作单位】 中国科学院上海冶金研究所
【曾工作单位】 中国科学院上海冶金研究所;
【所在地域】
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[1]傅新定,郑延芳,陈莉芝,任琮欣,蔡雪强,曲志敏,徐英明,李美月.反应离子束微细加工全息闪耀光栅研究[J]光学学报.1985,(01)
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