沈金媛
【姓名】 沈金媛
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;无机化工;
【研究方向】
【发表文献关键词】 红外吸收法,硅中氧,热施主,氧沉淀,单晶,标定曲线,新施主,成核,硅单晶,碳含量,测氧,沉淀速率,热处理过程,缺陷密度,间隙氧,晶片,吸收系数,铜-康铜热电偶,片体,热处理时间,红外窗口材料,红外,内...
【工作单位】 中国科学院上海冶金研究所
【曾工作单位】 中国科学院上海冶金研究所;
【所在地域】
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[1]李月珍,沈金媛,任宁,王其闵.78K红外吸收法测定硅中氧含量[J]应用科学学报.1985,(02)
[2]李月珍;沈金媛;王云珍;.多晶硅的点阵吸收带[J]激光与红外.1985,(03)
[3]谭淞生,沈金媛,李月珍.硅中碳含量对缺陷成核的影响[J]半导体学报.1986,(05)
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