罗桂昌
【姓名】 罗桂昌
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;自动化技术;
【研究方向】
【发表文献关键词】 硅衬底,露点,多孔Al_2O_3,湿度传感器,本征吸收,缺陷控制,加氯,MOS电容,氮气,产生寿命,氧化预处理,半导体工艺,预处理,VLSI电路,半导体器件,漏电流,MOS湿敏元件,微型,湿敏元件,二...
【工作单位】 中国科学院上海冶金研究所
【曾工作单位】 中国科学院上海冶金研究所;
【所在地域】 上海
今年新增/文献篇数 核心期刊论文数 基金论文数 第一作者篇数 总被引频次 总下载频次
0/2 0 0 0 2 106
中国期刊全文数据库    共找到2篇
[1]许康,王为林,史遵兰,罗桂昌,何德湛,邵海文.硅衬底中缺陷的控制和利用[J]电子科学学刊.1988,(03)
[2]骆如枋,罗桂昌,陆玉萍,严荣华.Si-MOS电容式微型湿度传感器的研究[J]传感技术学报.1990,(03)
更多