李宝清
【姓名】 李宝清
【职称】
【研究领域】 自动化技术;物理学;仪器仪表工业;
【研究方向】
【发表文献关键词】 微差分电容,加速度计,微机械,相敏解调,硼离子注入,接口电路,开环,电容式,质量块,CAD,磁场,驻极体,氮化硅薄膜,霍尔效应器件,翼片,感器,敏度,加速度传感器,薄膜驻极体,差分电容,高线性,内应力...
【工作单位】 中国科学院上海冶金研究所
【曾工作单位】 中国科学院上海冶金研究所;
【所在地域】 上海
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中国期刊全文数据库    共找到5篇
[1]李宝清,陆德仁,王渭源.变面积结构微机械电容式加速度传感器[J]中国工程科学.2000,(02)
[2]张晓青,夏钟福,潘永刚,张冶文,李宝清,林梓辛.硼离子注入对硅基Si_3N_4薄膜驻极体性质的影响及力学性能的改善[J]应用科学学报.2000,(03)
[3]胡少坚,崔卫东,李宝清,夏冠群.霍尔翼片传感器的磁路仿真与设计[J]机械工程学报.2002,(07)
[4]李宝清,陆德仁,王渭源.微机械电容式加速度计的开环工作模式[J]功能材料与器件学报.1999,(04)
[5]李宝清,陆德仁,王渭源.高线性微机械差分电容式加速度计测量电路[J]测控技术.1999,(10)
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中国重要会议全文数据库    共找到1篇
[1]陆德仁;李宝清;邹强;尤绍麟;.低量程电容式力平衡加速度传感器[A].2000全国力学量传感器及测试、计量学术交流会论文集.2000-07-01
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