亢昌军
【姓名】 亢昌军
【职称】
【研究领域】 工业通用技术及设备;物理学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 光学透射率,金刚石薄膜,透射率,成核,高密度成核,沉积气压,衬底温度,甲烷浓度,光波长,金刚石,微波等离子体CVD,冶金研究,国家重点实验室,传感技术,直流偏压,杂质吸收,抛光硅片,成核密度,透射谱,...
【工作单位】 中国科学院上海冶金研究所
【曾工作单位】 中国科学院上海冶金研究所;
【所在地域】 上海
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[1]毛敏耀,亢昌军,王添平,解健芳,谭淞生,王渭源,章熙康,金晓峰,庄志诚.金刚石薄膜的光学透射率研究[J]物理学报.1995,(09)
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