关安民
【姓名】 关安民
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;核科学技术;
【研究方向】
【发表文献关键词】 束流剖面,超浅结,离子源,快速热退火,束剖面,等离子体发射,监测仪,电荷态,注入机,低能离子注入,等离子体密度,叶片式,高能离子,离子注入,探针,束流,BF_2~+注入,离子束技术,离子注入机,国产化...
【工作单位】 中国科学院上海冶金研究所
【曾工作单位】 中国科学院上海冶金研究所;
【所在地域】 上海
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[1]俞跃辉,邹世昌,关安民,周筑颖,赵国庆.高能离子注入硅形成导电埋层的光学表征[J]中国科学(A辑 数学 物理学 天文学 技术科学).1994,(06)
[2]关安民,罗潮渭,李钧,石华君,林成鲁,夏冠群.低能离子注入的应用[J]电子学报.1996,(02)
[3]关安民,孙义林,王遂福,耿海阳,赵维忠,倪振元.820型重离子源及其应用[J]核技术.1985,(03)
[4]关安民,王遂福,孙义林,耿海阳,赵维忠,倪振元.尼尔逊离子源重离子束流的发射度[J]核技术.1986,(01)
[5]孙义林,关安民.321型束流剖面监测仪在离子束技术中的应用[J]核技术.1986,(02)
[6]林成鲁,关安民,耿海阳.用5—20keV As~+、BF_2~+注入与快速热退火制作超浅结的研究[J]核技术.1988,(08)
[7]耿海阳,关安民,林成鲁,俞波.1、2MeV双电荷态磷离子注入硅的研究[J]核技术.1989,(04)
[8]关安民,孙义林,耿海阳,李钧,蒋新元.820离子源在600kV离子注入机上的应用[J]核技术.1989,(04)
[9]夏冠群,关安民,耿海阳,王渭源.SI GaAS中S~+注入的电学特性[J]半导体学报.1989,(07)
[10]黄克铃,任晋成,孙少康,周荣祥,经文春,关安民.对引进离子注入机损坏部件进行国产化替换的尝试[J]微细加工技术.1991,(03)
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中国重要会议全文数据库    共找到1篇
[1]黄克铃;关安民;任晋成;孙少康;周荣祥;经文春;.对引进离子注入机损坏部件进行国产化替换的尝试[A].中国电工技术学会电子束离子束专业委员会第四届电子束离子束学术年会暨中国电子学会焊接专业委员会第二届电子束焊接学术年会论文集.1991-06-01
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