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董业明
【姓名】
董业明
【职称】
【研究领域】
无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】
SOI,边界热阻,SIMOX,热导率,埋氧层,垂直方向,热导,上海微系统与信息技术研究所,子学,离子束,氧化硅,微电,重点实验室,双栅器件,电阻,清华大学,三维有限元,阻模型,底座,背栅,
【工作单位】
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
【曾工作单位】
中国科学院上海微系统与信息技术研究所;
【所在地域】
上海
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共找到1篇
[1]何平,刘理天,田立林,李志坚,董业明,陈猛,王曦.
SIMOX硅片埋氧层垂直方向热导率的测量
[J]半导体学报.2003,(10)
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