尹福廷
【姓名】 尹福廷
【职称】
【研究领域】 核科学技术;
【研究方向】
【发表文献关键词】 X光光刻监测系统,垂直位置,同步辐射,束线,X光光刻,北京同步辐射装置,均匀性,贮存环,光斑均匀性,监测系统,同步辐射光,曝光量,垂直方向,高能物理,光强监测,光强,曝光量控制,柱面镜,光斑,光源点,
【工作单位】 中国科学院高能物理研究所
【曾工作单位】 中国科学院高能物理研究所;
【所在地域】 北京
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[1]崔明启,刘丽冰,徐文轩,唐鄂生,吴坚武,王培玮,尹福廷,陈光辉.北京同步辐射装置X光光刻束线监测系统[J]核电子学与探测技术.1992,(06)
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