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伊福廷

【姓名】	伊福廷
【职称】	研究员;
【研究领域】	无线电电子学;金属学及金属工艺;物理学;
【研究方向】	LIGA技术与微纳加工
【发表文献关键词】	微流路,LIGA,掩模,塑铸,生物芯片,MEMS,SU8胶,电泳技术,X射线,芯片,束线,背面曝光,光刻胶,光刻,SU8,传输功率,微结构,沟道,吸收膜,X射线光刻,光束线,上下表面,真空模,键合,吸...
【工作单位】	中国科学院高能物理研究所
【曾工作单位】	中国科学院高能物理研究所;
【所在地域】	北京

今年新增/文献篇数	核心期刊论文数	基金论文数	第一作者篇数	总被引频次	总下载频次
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中国期刊全文数据库 共找到57篇

[1]刘静;常广才;伊福廷;张伟伟;.镍基棱镜型高能X射线聚焦组合折射透镜的研制[J]电子器件.2020,(04)

[2]王雨婷;王波;伊福廷;张天冲;刘静;粱筱筱;.The property research of the transmission sinusoidal grating with fabrication of LIGA process[J]Optoelectronics Letters.2019,(05)

[3]刘静;伊福廷;盛伟繁;常广才;张伟伟;.聚甲基丙烯酸甲酯材质硬X射线组合Kinoform透镜的制作[J]光学精密工程.2017,(11)

[4]周悦;王雨婷;伊福廷;王波;刘静;张天冲;.基于磁流变技术的微孔内壁抛光装置研制及性能研究[J]表面技术.2018,(06)

[5]石泓;满卫东;谭映雷;高振华;韩庆夫;伊福廷;盛伟繁;.北京同步辐射装置1B3前端区真空设计[J]真空.2017,(01)

[6]孙钢杰;伊福廷;王焕华;贾全杰;张天冲;.磁控溅射偏压对Cr薄膜密度以及表面形貌的影响[J]电镀与精饰.2016,(07)

[7]马天军;孙建海;郝保良;李飞;伊福廷;刘濮鲲;.220GHz折叠波导UV-LIGA微加工工艺（英文）[J]强激光与粒子束.2015,(02)

[8]马天军;陈振海;孙建海;伊福廷;刘濮鲲;.TWT微型折叠波导紫外激光微加工研究[J]航空精密制造技术.2015,(02)

[9]马天军;陈振海;俞世吉;孙建海;伊福廷;刘濮鲲;.折叠波导行波管铪栅极退火温度及其性能（英文）[J]材料热处理学报.2015,(S1)

[10]马天军;孙建海;陈振海;伊福廷;刘濮鲲;.折叠波导高频结构UV-LIGA技术研究[J]真空科学与技术学报.2015,(11)

中国重要会议全文数据库 共找到9篇

[1]伊福廷;.微机械结构的一种大规模生产方法-LIGA技术[A].2014年全国电火花成形加工技术研讨会交流文集.2014-11-08

[2]赵传熙;陈军;王波;伊福廷;.高能X射线辐照对ZnO纳米线结构及其场致电子发射特性的影响[A].中国真空学会2012学术年会论文摘要集.2012-09-21

[3]彭良强;伊福廷;张院春;邹丽芸;张菊芳;韩勇;.基于LIGA技术的微细电火花加工研究[A].特种加工技术——2001年中国机械工程学会年会暨第九届全国特种加工学术年会论文集.2001-06-30

[4]彭良强;伊福廷;张院春;邹丽芸;张菊芳;韩勇;.基于LIGA技术的微细电火花加工研究[A].2001年中国机械工程学会年会暨第九届全国特种加工学术年会论文集.2001-11-01

[5]邹丽芸;张院春;彭良强;黄军容;伊福廷;张菊芳;韩勇;.基于LIGA技术的微细电火花加工优化研究[A].第十届全国特种加工学术会议论文集.2003-10-01

[6]彭良强;伊福廷;张菊芳;韩勇;邹丽芸;张院春;.细长型电火花工具电极的制作研究[A].第十届全国特种加工学术会议论文集.2003-10-01

[7]伊福廷;张菊芳;.北京同步辐射装置LIGA技术研究[A].全国先进制造技术高层论坛暨制造业自动化、信息化技术研讨会论文集.2005-08-01

[8]伊福廷;张菊芳;侯凤杰;.利用光刻技术研制雾化器的金属微孔阵列[A].2007年中国机械工程学会年会之第12届全国特种加工学术会议论文集.2007-11-01

[9]伊福廷;张菊芳;侯凤杰;.利用光刻技术研制雾化器的金属微孔阵列[A].2007年中国机械工程学会年会论文集.2007-11-01

承担国家科研项目 共找到2个

[1]伊福廷;.纳米岛光刻技术和它在同步辐射纳米光刻中的应用[A].中国科学院高能物理研究所;.项目经费 26万元.2003-03-31.资助文献数 2 篇

[2]伊福廷.纳米柱状结构表面硅材料的研制与在光电池应用上的性能研究[A].中国科学院高能物理研究所.项目经费 35万元.2009-03-20.资助文献数 0 篇