邹海兴
【姓名】 邹海兴
【职称】
【研究领域】 物理学;仪器仪表工业;无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 方角,投影光学系统,扫描投影光刻机,图形传递,光学系统,投影光刻机,紫外和远紫外光刻,准分子激光光刻,物镜,圆角半径,亚微米光刻,紫外或深紫外光刻,拦光系数,均匀器,投影光刻,工学研究生,像差平衡,校...
【工作单位】 中国科学院上海光学精密机械研究所
【曾工作单位】 中国科学院上海光学精密机械研究所;
【所在地域】 上海嘉定
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[1]鄢雨，徐德衍，严琪华，邹海兴.板条激光器的像散补偿[J]中国激光.1994,(09)
[2]沈蓓军，丁生华，邹海兴，路敦武，杨良民.CDMS－1型电视线宽测量仪设计与检测[J]光学精密工程.1994,(01)
[3]黄惠杰,邹海兴.白光尘埃粒子计数器光学系统的改进[J]光学仪器.1994,(02)
[4]黄惠杰,邹海兴.BCJ—1尘埃粒子计数器光学系统的设计[J]光学仪器.1995,(06)
[5]陈钰明,冯大任,邹海兴.二维横向剪切干涉仪[J]激光.1980,(10)
[6]邹海兴,冯大任.高能激光衰减器——圆孔光栅[J]激光.1980,(11)
[7]冯大任,邹海兴.小Fresnel数轴对称光腔场分布计算[J]激光.1980,(12)
[8]陈兰英;冯大任;邹海兴;.检验光学元件的新方法——夹层全息法[J]光学仪器.1980,(02)
[9]徐德衍;邹海兴;.单一光学平板作为激光束剪切干涉元件的几个问题[J]光学仪器.1981,(04)
[10]邹海兴.圆对称非稳腔的光束发散度问题[J]激光.1982,(02)
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