邵淑英
【姓名】 邵淑英
【职称】 副研究员;
【研究领域】 工业通用技术及设备;物理学;材料科学;
【研究方向】 薄膜应力方面的研究
【发表文献关键词】 沉积温度,ZrO2薄膜,残余应力,沉积速率,薄膜应力,薄膜物理,薄膜物理学,电子束蒸发,ZrO_2薄膜,氧分压,SiO2薄膜,SiO_2薄膜,沉积参量,薄膜光学,电子束蒸发沉积,多层膜,张应力,压应力...
【工作单位】 中国科学院上海光学精密机械研究所
【曾工作单位】 中国科学院上海光学精密机械研究所;
【所在地域】 上海
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