刘丹
【姓名】 刘丹
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;物理学;电信技术;
【研究方向】
【发表文献关键词】 工件台,掩模台,光学检测,哈特曼检验法,扫描式哈特曼光阑,非球面准直物镜,球差,波像差,能量集中度,检测装置,步进扫描投影光刻机,套刻精度,聚焦镜,摄像机,扫描型,干涉仪,平行光管,步进电机,干涉法测...
【工作单位】 中国科学院上海光学精密机械研究所
【曾工作单位】 中国科学院上海光学精密机械研究所;
【所在地域】 上海
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