王蕾
【姓名】 王蕾
【职称】
【研究领域】 自动化技术;无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 微梁结构热偶微波功率传感器,微波功率,MEMS工艺,热偶,LAPS,阵列芯片,电泳微芯片,微梁结构,热激励,谐振梁,微电子机械加工技术,三维微结构,光寻址电位传感器,传感器芯片,牺牲层,聚二甲基硅氧烷...
【工作单位】 中国科学院电子学研究所
【曾工作单位】 中国科学院电子学研究所;
【所在地域】 北京
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[1]韩泾鸿,张虹,顾丽波,徐磊,陈绍凤,王利,王蕾.微结构光寻址电位传感器阵列芯片的研制[J]微纳电子技术.2003,(Z1)
[2]刘长春,崔大付,赵强,王利,王蕾.基于MEMS技术的PDMS电泳微芯片的研制[J]微细加工技术.2004,(01)
[3]高晓童,崔大付,陈德勇,王利,王蕾.热激励硅谐振式压力传感器的研制[J]仪表技术与传感器.2004,(04)
[4]者文明,崔大付,陈德勇,王利,王蕾.微梁结构热偶微波功率传感器芯片的制作工艺[J]传感器技术.2002,(11)
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