丁生华
【姓名】 丁生华
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 线宽测量,光学计,电视线,量仪,设计与检测,CDMS,测量仪,线条,定标,标准线,测量误差,测量法,光强,集成电路生产,显微成像系统,掩模制造,阈值,电路图像,标定法,测量精度,
【工作单位】 中国科学院上海光学精密机械研究所
【曾工作单位】 中国科学院上海光学精密机械研究所;
【所在地域】
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[1]沈蓓军,丁生华,邹海兴,路敦武,杨良民.CDMS-1型电视线宽测量仪设计与检测[J]光学精密工程.1994,(01)
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