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杨慎忠
【姓名】
杨慎忠
【职称】
【研究领域】
无线电电子学;自动化技术;
【研究方向】
【发表文献关键词】
电子束曝光机,工作原理,激光工件台,图形发生器,位置偏移,系统可靠性,绘图技术,光闸,计算机辅助设计,绘图机,测试结果,中国科学院,计算机控制系统,感光胶片,汇编语言,印刷线路板,分析讨论,补偿电压,...
【工作单位】
中国科学院电工研究所
【曾工作单位】
中国科学院电工研究所;
【所在地域】
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中国期刊全文数据库
共找到3篇
[1]杨慎忠.
电子束曝光机激光工件台位置偏移的跟踪校正
[J]电工电能新技术.1988,(04)
[2]向钟慧,杨慎忠.
圆形电子束曝光机的计算机控制系统
[J]电工电能新技术.1988,(04)
[3]杨慎忠,钱元凯,林云生,马伟伟,刘亦兵.
光绘图机系统
[J]电工电能新技术.1990,(03)
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向钟慧
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刘亦兵
中国科学院电工研究所
1
钱元凯
中国科学院电工研究所
1
林云生
中国科学院电工研究所
1
马伟伟
中国科学院电工研究所
1
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