齐克修
【姓名】 齐克修
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;电力工业;
【研究方向】
【发表文献关键词】 曝光机,单脉冲,引弧电路,离子镀膜机,电子束,投影,电弧电源,光电阴极,直流电弧,引弧技术,聚焦磁场,高频引弧,阳极,研制成功,方箱,磁体,电子束投影曝光,工作气压,电工,节省能源,操作安全,光电发射...
【工作单位】 中国科学院电工研究所
【曾工作单位】 中国科学院电工研究所;
【所在地域】
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[1]黄经筒,吴振华,张祥龄,游本章,杨铁三,方国成,柏仲茹,齐克修.电子束投影复印曝光机[J]微细加工技术.1986,(03)
[2]游本章,黄经筒,齐克修,杨铁三.用于离子镀膜的高压单脉冲引弧技术[J]电工电能新技术.1987,(04)
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