孟月冬
【姓名】 孟月冬
【职称】
【研究领域】 材料科学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 射频磁控溅射,Cr/CrN多层薄膜,微结构,纳米硬度,内应力,多层膜,小周期,硬度值,单层膜,晶体结构,周期厚度,结晶取向,抗变形能力,外力作用,薄膜硬度,调制周期,交替沉积,压应力,合成,力学性能研...
【工作单位】 中国科学院等离子体物理研究所
【曾工作单位】 中国科学院等离子体物理研究所;
【所在地域】 合肥
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[1]李立;刘峰;柴立全;王娟;孟月冬;任兆杏;.射频磁控溅射Cr/CrN膜微结构和力学性能研究[J]中国民航学院学报.2006,(05)
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