陈俊芳
【姓名】 陈俊芳
【职称】
【研究领域】 物理学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 沉积镀膜,电子回旋共振等离子体,电子回旋共振（ECR）,等离子体技术,子体,材料科学,等离子体沉积,等离子体刻蚀,电子回旋共振,等离子体加工,大面积均匀,维持放电,高密,微波放电,等离子体,等离子体密...
【工作单位】 中国科学院等离子体物理研究所
【曾工作单位】 中国科学院等离子体物理研究所;
【所在地域】
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