尢大纬
【姓名】 尢大纬
【职称】
【研究领域】 工业通用技术及设备;
【研究方向】
【发表文献关键词】 离子束,光学薄膜,多离子束电子束,电子源,离子源,宽束,薄膜制备,辅助沉积,极靴,放电室,强流,溅射沉积,电子束系统,引出系统,束流,电子束蒸发沉积,靶材,低能离子轰击,绝缘样品,气体离子,
【工作单位】 中国科学院空间科学与应用研究中心
【曾工作单位】 中国科学院空间科学与应用研究中心;
【所在地域】
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[1]冯毓材,李哓谦,尢大纬,况元珠,王宇.光学薄膜制备用的多离子束电子束系统[J]电工电能新技术.1997,(03)
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