于杰
【姓名】 于杰
【职称】
【研究领域】 无机化工;化学;无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 化学气相生长,金刚石膜生长,辐照场,HFCVD,金刚石,热丝,模拟计算,法化学,温度场,气相沉积,金刚石膜,反应器设计,辐射场,热绕流,气相生长,加热丝,生长速率,流场,均匀辐照,阵列,流沉积,离化率...
【工作单位】 中国科学院金属研究所
【曾工作单位】 中国科学院金属研究所;
【所在地域】
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[1]陈岩,于杰,陈广超,程新红,曹晓明,张军旗,宋贵宏,刘德义,苏革,黄荣芳,闻立时,师昌绪.热丝化学气相生长金刚石温度场流场模拟计算和反应器设计原理研究[J]真空.1999,(01)
[2]刘德义,黄荣芳,于杰,闻立时,师昌绪.热丝法化学气相沉积大面积金刚石膜中辐射场和温度场的尺寸效应[J]材料研究学报.1996,(03)
[3]陈岩,于杰,陈广超,程新红,曹晓明,张军旗,宋贵宏,刘德义,苏革,黄荣芳,闻立时,师昌绪.热丝化学气相生长金刚石温度场流场模拟计算和反应器设计原理研究[J]真空.1998,(06)
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