杨晓军
【姓名】 杨晓军
【职称】
【研究领域】 工业通用技术及设备;物理学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 薄膜厚度,极值点,监控,判断方法,测量值,反射率曲线,蒸镀,预测值,膜料,奇异项,低折射率,玻璃基,奇异点,光学薄膜,高折射率,λ/4膜系,西安,采样点,科学与工程,一阶差分法,
【工作单位】 中国科学院西安光学精密机械研究所
【曾工作单位】 中国科学院西安光学精密机械研究所;
【所在地域】
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[1]韩军,弥谦,杨晓军.光学薄膜厚度监控——极值点判断方法研究[J]西安工业学院学报.2001,(02)
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