于红伟
【姓名】 于红伟
【职称】
【研究领域】 物理学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 等离子体加工,去胶,超导器件,刻蚀剂,刻蚀速率,反应器,等离子清洗,样品架,道器,微晶玻璃,工艺试验,等离子刻蚀,超导隧道结,光刻胶,电容极板,RF功率,中国科学院物理研究所,等离子体刻蚀,基片架,四...
【工作单位】 中国科学院物理研究所
【曾工作单位】 中国科学院物理研究所;
【所在地域】 北京
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[1]张胤,杨沛然,叶维江,张远仪,于红伟.超导器件制备的等离子体加工工艺[J]低温与超导.1987,(03)
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