凌行
【姓名】 凌行
【职称】 高级工程师;
【研究领域】 无线电电子学;机械工业;工业通用技术及设备;
【研究方向】
【发表文献关键词】 自致蚀停,智能化衬底,金刚石薄膜,真空盒吸片技术,蚀液,硅微结构,共平面多芯片再集成技术,PN结,介电性能,微系统,纳米金刚石薄膜,电化学腐蚀,介电特性,刻蚀,纳米,选择性生长,P型硅,图形化,压力微...
【工作单位】 上海交通大学
【曾工作单位】 上海交通大学;
【所在地域】 上海
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[1]关炎芳;耿铁;韩莉莉;刘春波;凌行;.无阀微泵压电特性分析及性能测试[J]上海交通大学学报.2013,(07)
[2]凌行,莘海维,张志明,孙方宏,戴永兵,沈荷生.压阻式金刚石压力微传感器的制作与测试[J]微细加工技术.2003,(02)
[3]邵传芬,史常忻,凌行,温伯莹.GaAs微条粒子探测器的设计[J]固体电子学研究与进展.2004,(01)
[4]简小刚,孙方宏,陈明,张志明,沈荷生,凌行.金刚石薄膜自支撑窗口试样的制备与实验研究[J]上海交通大学学报.2004,(06)
[5]奚正蕾,莘海维,张志明,凌行,沈荷生,戴永兵,万永中,陆鸣.常规与纳米金刚石薄膜介电性能的比较[J]微细加工技术.2001,(04)
[6]莘海维,凌行,奚正蕾,张志明,沈荷生,戴永兵.复合金刚石薄膜的介电特性[J]上海交通大学学报.2002,(05)
[7]莘海维,奚正蕾,凌行,张志明.金刚石薄膜图形化技术的研究[J]航空精密制造技术.2002,(01)
[8]汤玉生,凌行,戴庆元,沈志广.微系统集成大面积智能化衬底技术研究[J]微细加工技术.1999,(03)
[9]汤玉生,沈志广,戴庆元,凌行,颜景沪,徐秀琴.KOH蚀液的PN结自致蚀停技术研究[J]微细加工技术.1997,(02)
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中国重要会议全文数据库    共找到1篇
[1]莘海维;奚正蕾;张志明;凌行;沈荷生;戴永兵;万永中;.纳米金刚石薄膜的制备与介电性能[A].2001年纳米和表面科学与技术全国会议论文摘要集.2001-05-01
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