赵玲利
【姓名】 赵玲利
【职称】 工程师;
【研究领域】 无线电电子学;物理学;环境科学与资源利用;
【研究方向】 微电子工艺研究工作
【发表文献关键词】 光刻胶,冷等离子体,等离子体,压射,常压,存活曲线,氧气流量,大气压,射频,常压等离子体,微生物,微电子工业,射频激励,等离子体刻蚀,射频功率,常压低温等离子体,冷等离子体技术,TEOS,二氧化硅薄膜...
【工作单位】 中国科学院微电子研究所
【曾工作单位】 中国科学院微电子研究所;
【所在地域】 北京
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