李志刚
【姓名】 李志刚
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;仪器仪表工业;自动化技术;
【研究方向】
【发表文献关键词】 临近效应,抗蚀剂,电子束光刻,单电子晶体管,正统理论,电子束,库仑阻塞,量子隧穿,纳米晶存储器,非挥发性存储器,分立电荷存储,主方程方法,散射参数,凹槽图形,GaAs衬底,tunneling,中电子,...
【工作单位】 中国科学院微电子研究所
【曾工作单位】 中国科学院微电子研究所;
【所在地域】 北京
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[4]韩茜茜;欧毅;李志刚;欧文;陈大鹏;叶甜春;.Simulation and fabrication of thin film bulk acoustic wave resonator[J]Journal of Semiconductors.2016,(07)
[5]翟琼华;欧毅;薛晨阳;李志刚;欧文;.SIW交指带通滤波器的设计与仿真[J]传感技术学报.2015,(09)
[6]刘瑞文;孔延梅;焦斌斌;李志刚;尚海平;卢狄克;高超群;陈大鹏;张青川;.A substrate-free optical readout focal plane array with a heat sink structure[J]Journal of Semiconductors.2013,(02)
[7]阮文彪;陈岚;李志刚;叶甜春;马天宇;王强;.Effects of pattern characteristics on the copper electroplating process[J]半导体学报.2011,(05)
[8]王强;陈岚;李志刚;阮文彪;.An electroplating topography model based on layout-dependent variation of copper deposition rate[J]半导体学报.2011,(10)
[9]郭婷婷;刘明;管伟华;胡媛;李志刚;龙世兵;陈军宁;.纳米晶浮栅存储器的模拟、制备和电学特性[J]微纳电子技术.2009,(02)
[10]阮文彪;陈岚;李志刚;叶甜春;.Effects of pattern characteristics on copper CMP[J]半导体学报.2009,(04)
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中国重要会议全文数据库    共找到2篇
[1]龙世兵;李志刚;王丛舜;谢长青;张立辉;易里成荣;陈宝钦;赵新为;刘明;.一种SOI基平面侧栅单电子晶体管的制作方法[A].科技、工程与经济社会协调发展——中国科协第五届青年学术年会论文集.2004-06-30
[2]杨楷;李志刚;景玉鹏;陈大鹏;.MEMS传感器电学参数批测试平台示值误差测量结果的不确定度评定[A].2007'仪表,自动化及先进集成技术大会论文集(一).2007-12-01
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