李海江
【姓名】 李海江
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 光刻胶,冷等离子体,大气压,压射,等离子体,射频激励,常压,氧气流量,等离子体刻蚀,射频,氩气流,氧原子,衬底温度,刻蚀速率,输入功率,放电参数,子体,微电,PARK,喷枪设备,入射功率,放电功率,离...
【工作单位】 中国科学院微电子研究所
【曾工作单位】 中国科学院微电子研究所;
【所在地域】 北京
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[1]李海江,王守国,赵玲利,叶甜春.常压射频低温冷等离子体清洗光刻胶研究[J]半导体技术.2004,(12)
[2]赵玲利,李海江,王守国,叶甜春.常压射频激励低温冷等离子体刻蚀光刻胶[J]半导体学报.2005,(03)
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