余兵
【姓名】 余兵
【职称】
【研究领域】 自动化技术;
【研究方向】
【发表文献关键词】 静电封接,静电封接技术,静电,研究与实验,玻璃膜,块硅,线热膨胀系数,接面,耗尽层,智能机械,热应力,承端,封接材料,玻璃材料,电场力,低温玻璃,感器,孔德,溅射,体硅,
【工作单位】 中国科学院合肥智能机械研究所
【曾工作单位】 中国科学院合肥智能机械研究所;
【所在地域】
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[1]孔德义，余兵，梅涛，虞承端.常温静电封接技术的研究与实验尝试[J]传感器技术.1995,(04)
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