张立超
【姓名】 张立超
【职称】 副研究员;
【研究领域】 物理学;工业通用技术及设备;仪器仪表工业;
【研究方向】 短波光学薄膜技术的研究
【发表文献关键词】 多层膜,多层膜光栅,光栅,极紫外,软X射线,残余应力,极紫外投影光刻,薄膜光学,掩模,照明误差,反射光谱曲线,软X射线多层膜,闪耀光栅,界面粗糙度,函数关系,Si多层膜,单色仪,曲线拟合,反射率,表面...
【工作单位】 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
【曾工作单位】 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;
【所在地域】 吉林长春
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[1]毕丹丹;张立超;时光;.浸没式光刻投影物镜光学薄膜[J]中国光学.2018,(05)
[2]谷勇强;张立超;武潇野;梅林;时光;.基于指数法评估激光量热仪吸收测量不确定度[J]光学精密工程.2016,(02)
[3]贺健康;张立超;才玺坤;时光;武潇野;梅林;.离子束溅射制备GdF_3光学薄膜沉积速率分布特性[J]中国光学.2016,(03)
[4]才玺坤;张立超;时光;贺健康;武潇野;梅林;.离子束溅射制备低应力深紫外光学薄膜[J]中国光学.2016,(06)
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[6]赵灵;武潇野;谷勇强;时光;梅林;才玺坤;张立超;.激光量热法测量深紫外氟化物薄膜吸收[J]中国激光.2014,(08)
[7]武潇野;张立超;时光;.应用于高性能光学薄膜表征的光热光声检测技术[J]中国光学.2014,(05)
[8]才玺坤;张立超;梅林;时光;.热蒸发与离子束溅射制备LaF_3薄膜的光学特性[J]中国光学.2014,(05)
[9]时光;梅林;张立超;.球面元件表面AlF_3薄膜的光学特性和微观结构表征[J]中国光学.2013,(06)
[10]张立超;高劲松;.基于遮挡矩阵的膜厚修正挡板的设计[J]光学精密工程.2013,(11)
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