蔡峋
【姓名】 蔡峋
【职称】
【研究领域】 工业通用技术及设备;
【研究方向】
【发表文献关键词】 水解,沉积温度,化学气相沉积,二氧化钛,沉积率,LPCVD,锐钛矿,动力学,水解法,水解反应,TiO_2,TiO2,四异丙醇钛,沉积速率,水分,氧分压,热分解,表观反应活化能,表面反应控制,薄膜结构,
【工作单位】 上海交通大学
【曾工作单位】 上海交通大学;
【所在地域】 上海
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[1]李文漪,李刚,蔡峋,孙彦平,赵君芙.LPCVD水解法制备TiO_2薄膜[J]材料科学与工程学报.2003,(03)
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