赵冀
【姓名】 赵冀
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 亚表面损伤层,GaAs,抛光晶片,抛光,损伤层,亚表面,晶片,化学机械抛光,polis,抛光布,电路与器件,离子注入,红军,抛光液,表面损伤,非掺GaSb,研究与进展,固体电子学,半导体,中国科学院,
【工作单位】 中国科学院半导体研究所
【曾工作单位】 中国科学院半导体研究所;
【所在地域】 北京
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[1]卜俊鹏,郑红军,赵冀,朱蓉辉,尹玉华.超低亚表面损伤层GaAs抛光晶片的工艺[J]半导体学报.2003,(04)
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