王培大
【姓名】 王培大
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;物理学;金属学及金属工艺;
【研究方向】
【发表文献关键词】 浅结,电子束,离子注入机,离子注入,抗蚀,靶体,离子注,靶室,高浓度,电子束加工,结深,后加速,氧化硅,硅腐蚀,负高压,SiO_2膜,电子轰击,三层结构,HREM,腐蚀速率,表面改性,成象条件,光栏,...
【工作单位】 中国科学院半导体研究所
【曾工作单位】 中国科学院半导体研究所;
【所在地域】 北京
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[1]王培大,韩阶平,裴荣祥,洪啸吟.离子注入无显影刻蚀技术[J]半导体学报.1980,(03)
[2]孙慧玲,陈鸣,王培大.硅中注入高剂量氮离子的研究[J]半导体学报.1982,(02)
[3]王培大,辅阶平.离子束曝光的无显影刻蚀[J]微细加工技术.1983,(01)
[4]孙慧龄,王培大,李秀琼,唐革非,徐嘉东,何彩霞,中国科学院电工所电子束加工组.砷化镓注硫的电子束退火[J]微细加工技术.1983,(02)
[5]王培大,唐革非,徐嘉东,何彩霞.LC-1型离子注入机的改装[J]微细加工技术.1984,(04)
[6]李秀琼,孙慧龄,王培大,唐革非,徐嘉东,何彩霞.电子束掺杂的应用——高浓度浅结的形成[J]微细加工技术.1984,(04)
[7]李秀琼,孙慧玲,王培大.电子束掺杂磷[J]半导体学报.1984,(01)
[8]韩阶平,王培大,马俊如,王守武.离子注入抗蚀技术[J]半导体学报.1985,(05)
[9]韩阶平,王培大,马俊如,王守武.离子注入抗蚀技术[J]半导体学报.1986,(06)
[10]韩阶平,王培大,徐卫东,金钟元,陈梦真.二氧化硅的表面改性[J]半导体学报.1988,(02)
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中国重要会议全文数据库    共找到2篇
[1]王培大;徐嘉东;商作起;杨占坤;韩阶平;李秀琼;.电子、离子及等离子的应用[A].中国电工技术学会电子束离子束专业委员会第五届电子束离子束学术年会、中国电子学会焊接专业委员会第三届电子束焊接学术年会论文集.1993-12-01
[2]韩和相;汪兆平;李国华;王培大;孙慧玲;.掺稀土半导体的喇曼光谱[A].中国物理学会光散射专业委员会成立十周年暨第六届学术会议论文集(上).1991-10-01
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