樊中朝
【姓名】 樊中朝
【职称】 副研究员;
【研究领域】 无线电电子学;物理学;材料科学;
【研究方向】 硅基光波导器件、GaN基电力电子器件及半导体器件加工工艺研究
【发表文献关键词】 多模干涉,刻蚀,光电子器件,刻蚀技术,通道转换,电感耦合等离子体,调制器,刻蚀气体,光开关矩阵,耦合器,光波导,刻蚀速率,单模条件,热光,热氧化,侧壁,转换型,选择比,绝缘衬底,Ⅲ-Ⅴ族化合物,腔室,...
【工作单位】 中国科学院半导体研究所
【曾工作单位】 中国科学院半导体研究所;
【所在地域】 北京
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[6]贾利芳;樊中朝;颜伟;杨富华;.GaN基HFET电力电子器件的研究[J]微纳电子技术.2012,(11)
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