陈鸣
【姓名】 陈鸣
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 氮离子,高剂量,俄歇,深度谱,俄歇谱,x光电子能谱,氮化硅,高阻层,背散射,硅结,电子能,高斯分布,沟道技术,菊池线,沟道谱,键合机理,红外,隔离工艺,随机谱,电子衍射,
【工作单位】 中国科学院半导体研究所
【曾工作单位】 中国科学院半导体研究所;
【所在地域】
今年新增/文献篇数 核心期刊论文数 基金论文数 第一作者篇数 总被引频次 总下载频次
0/1 0 0 0 2 19
中国期刊全文数据库    共找到1篇
[1]孙慧玲,陈鸣,王培大.硅中注入高剂量氮离子的研究[J]半导体学报.1982,(02)
更多