文公毼
【姓名】 文公毼
【职称】
【研究领域】 物理学;无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 激光感应电导,聚酰亚胺,精细加工,激光处理,微电子工业,电导率,微电子,聚酸,高分子聚合物,激光,亚胺,能量密度,光热反应,相变,激光脉冲,光化学反应,KrF激光,微晶石,非晶态碳,脉冲次数,
【工作单位】 中国科学院安徽光学精密机械研究所
【曾工作单位】 中国科学院安徽光学精密机械研究所;
【所在地域】
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[1]赵刚,H.M.Phillips,张兵临,恭知本,刘文清,文公毼.高分子聚合物材料激光处理及其在微电子工业中应用[J]光电子技术.1998,(01)
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