汪六九
【姓名】 汪六九
【职称】
【研究领域】 材料科学;物理学;无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 等离子体-热丝CVD,热丝化学气相沉积,多晶硅薄膜,热丝,硅薄膜,多晶硅,光电特性,光学性质,薄膜结构,化学气相沉积技术,CVD技术,低温制备,多晶,光能隙,等离子体,研究生院,子体,薄膜均匀性,物理...
【工作单位】 中国科学院研究生院
【曾工作单位】 中国科学院研究生院;
【所在地域】 北京
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中国期刊全文数据库    共找到2篇
[1]刘丰珍,朱美芳,冯勇,刘金龙,汪六九,韩一琴.等离子体-热丝CVD技术制备多晶硅薄膜[J]半导体学报.2003,(05)
[2]汪六九,朱美芳,刘丰珍,刘金龙,韩一琴.热丝化学气相沉积技术低温制备多晶硅薄膜的结构与光电特性[J]物理学报.2003,(11)
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中国重要会议全文数据库    共找到3篇
[1]刘丰珍;朱美芳;冯勇;韩一琴;刘金龙;汪六九;.微晶硅薄膜的电输运性质[A].中国太阳能学会2001年学术会议论文摘要集.2001-10-01
[2]汪六九;刘丰珍;朱美芳;冯勇;.HWCVD热丝对硅基薄膜沉积的影响[A].21世纪太阳能新技术——2003年中国太阳能学会学术年会论文集.2003-06-30
[3]刘丰珍;朱美芳;汪六九;韩一琴;.微晶硅薄膜电输运各向异性的研究[A].21世纪太阳能新技术——2003年中国太阳能学会学术年会论文集.2003-06-30
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