俞波
【姓名】 俞波
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 电荷态,离子注入,注入硅,磷离子,离子注入机,污染,赤磷,离子束,束流,低能离子,载流子浓度,高能离子注入,离子质谱,双电荷,气体放电,注入层,离子源,先加速,真空度,掩埋层,
【工作单位】 中国科学院上海冶金研究所
【曾工作单位】 中国科学院上海冶金研究所;
【所在地域】
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[1]胡旭宏，张敏，俞波，黄焕章.高性能BiCMOS制造技术及I/O电路优化[J]电子学报.1998,(02)
[2]耿海阳,关安民,林成鲁,俞波.1、2MeV双电荷态磷离子注入硅的研究[J]核技术.1989,(04)
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