尤伟
【姓名】 尤伟
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 硅氧化,氧化层,硅层,二氧化,强氧,氟化,击穿特性,纯氧,退火时间,厚度均匀性,氧退火,掺氟,HF气体,低温氧化,氧化温度,氟原子,薄栅,高压氧化,干氧氧化,密度,
【工作单位】 中国科学院上海冶金研究所
【曾工作单位】 中国科学院上海冶金研究所;
【所在地域】
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[1]尤伟,徐元森,郑养鉥.一种新的硅氧化方法——氟化氢增强氧化[J]半导体学报.1988,(06)
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