杨艺蓉
【姓名】 杨艺蓉
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 金刚石薄膜,离子束刻蚀,平坦表面,反应气体,成核密度,金刚石,热丝,金刚石粉末,图形,低气,二次成核,Ｘ射线,上海交通大学,喇曼,研磨,对衬,衬底表面预处理,薄膜图形,氧离子束,薄膜表面,
【工作单位】 中国科学院上海冶金研究所
【曾工作单位】 中国科学院上海冶金研究所;
【所在地域】
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[1]张志明,沈荷生,何贤昶,万永中,杨艺蓉,任琮欣.大面积平坦金刚石薄膜的制备和图形化[J]微细加工技术.1999,(04)
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