吴璘
【姓名】 吴璘
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 双层金属,门阵列电路,硅栅,布线,金属布线,制造工艺,CMOS,结深,技术研究,开启电压,针孔密度,集成密度,注硼,连通孔,冶金研究,杂质离子,接触电阻,硅合金,制造工艺技术,腐蚀量,
【工作单位】 中国科学院上海冶金研究所
【曾工作单位】 中国科学院上海冶金研究所;
【所在地域】 上海
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[1]郑养鉥,张敏,凌栋忠,吴璘,顾惠芬,郑庆云,邱斌.双层金属布线硅栅CMOS门阵列电路制造工艺技术研究[J]半导体学报.1993,(01)
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