谭松生
【姓名】 谭松生
【职称】
【研究领域】 物理学;无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 激光再结晶,SOM材料,压力传感器,压阻因子,激光功率,激光结晶,再结晶,非晶硅,无定形硅,薄层电阻,金属薄片,冶金研究,压阻,激光辐照,辐照功率,硅压阻,多晶硅,敏度,背散射谱,LPCVD,中国科学...
【工作单位】 中国科学院上海冶金研究所
【曾工作单位】 中国科学院上海冶金研究所;
【所在地域】
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[1]邢昆山,许学敏,林成鲁,陈莉芝,谭松生,邹世昌.激光再结晶SOM材料及压力传感器研究[J]电子学报.1989,(01)
[2]林成鲁,邢昆山,陈莉芝,许学敏,谭松生,邹世昌.金属薄片上无定形硅(SOM)的激光再结晶研究[J]中国激光.1990,(07)
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