孙义林
【姓名】 孙义林
【职称】
【研究领域】 核科学技术;无线电电子学;工业通用技术及设备;
【研究方向】
【发表文献关键词】 深能级,掺氮,压法,发射度,固体放电,卤化法,能级,离子源,重离子源,砷化镓,蒸发温度,GaAs,外延,组分,束流剖面,束流,Holon,重离子,物料,水汽,离子束混合,束剖面,红外干涉滤波膜,注入机...
【工作单位】 中国科学院上海冶金研究所
【曾工作单位】 中国科学院上海冶金研究所;
【所在地域】
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[1]江炳尧,张福民,孙义林,陈酉善,柳襄怀.离子束增强沉积Si_3N_4/Si多层红外干涉滤波薄膜[J]材料研究学报.1997,(05)
[2]周继程,乔墉,孙义林,沈德新,徐晨梅.磷砷化镓中氮和氧引起的深能级[J]应用科学学报.1983,(04)
[3]关安民,孙义林,王遂福,耿海阳,赵维忠,倪振元.820型重离子源及其应用[J]核技术.1985,(03)
[4]关安民,王遂福,孙义林,耿海阳,赵维忠,倪振元.尼尔逊离子源重离子束流的发射度[J]核技术.1986,(01)
[5]孙义林,关安民.321型束流剖面监测仪在离子束技术中的应用[J]核技术.1986,(02)
[6]关安民,孙义林,耿海阳,李钧,蒋新元.820离子源在600kV离子注入机上的应用[J]核技术.1989,(04)
[7]孙义林,张玉春,曹德福,张福民,陈酉善.一台新型的宽束离子束混合装置[J]微细加工技术.1991,(03)
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中国重要会议全文数据库    共找到1篇
[1]孙义林;张玉春;曹德福;张福民;冯毓材;杨松涛;尤大伟;况园珠;.宽束离子束混合装置的研制[A].中国电工技术学会电子束离子束专业委员会第四届电子束离子束学术年会暨中国电子学会焊接专业委员会第二届电子束焊接学术年会论文集.1991-06-01
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