邵海文
【姓名】 邵海文
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;无机化工;金属学及金属工艺;
【研究方向】
【发表文献关键词】 硅衬底,铸造合金,本征吸收,耐蚀,高温浓硫酸,缺陷控制,加氯,蚀性能,耐腐,微观分析,腐蚀率,浓硫酸泵,硫酸中,氮气,合金,产生寿命,耐蚀性,氧化预处理,半导体工艺,预处理,VLSI电路,耐蚀铸铁,半...
【工作单位】 中国科学院上海冶金研究所
【曾工作单位】 中国科学院上海冶金研究所;
【所在地域】 上海
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[1]罗风格,邵海文,仉政瑜,陈福妹,宫世明.RHS4型耐蚀铸造合金的研制与应用[J]硫酸工业.1995,(05)
[2]罗凤格,邵海文,倪政瑜,陈福妹.高温浓硫酸泵耐蚀铸造合金的研制与应用[J]硫酸工业.1997,(05)
[3]许康,王为林,史遵兰,罗桂昌,何德湛,邵海文.硅衬底中缺陷的控制和利用[J]电子科学学刊.1988,(03)
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