刘彦松
【姓名】 刘彦松
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;工业通用技术及设备;
【研究方向】
【发表文献关键词】 高温器件和电路,SOI,脉冲激光淀积,PLD,AlN,ZnO,声表面波,压电性,高温器,体硅,缓冲层,氧化锌,漏电流,ZnO薄膜,PLD法,电阻率,闩锁效应,ZnO缓冲层,声表面波器件,AlN薄膜,汽...
【工作单位】 中国科学院上海冶金研究所
【曾工作单位】 中国科学院上海冶金研究所;
【所在地域】 上海
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[1]刘彦松,王连卫,黄继颇,林成鲁.利用ZnO缓冲层制备AlN薄膜[J]压电与声光.2000,(05)
[2]刘彦松,王连卫,李伟群,黄继颇,林成鲁.用PLD法制备声表面波器件用ZnO薄膜[J]功能材料.2001,(01)
[3]刘彦松,多新中,黄继颇,张苗,王连卫,林成鲁.SOI高温器件及其在汽车电子等领域中的应用[J]物理.1999,(07)
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中国优秀硕士学位论文全文数据库    共找到1篇
[1]刘彦松.高声速衬底压电薄膜的制备及声表面波器件的研制探索[D].中国科学院上海冶金研究所.2000
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