郑智宏
【姓名】 郑智宏
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 二氧化铪,离子束增强沉积,高k电介质,薄膜,制备,硅衬底,退火,化学键,氧元素,栅氧化层,非晶,隧穿效应,介质层,实验,透射电子显微镜,结合能,表面,样品,光电子能谱,技术,
【工作单位】 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
【曾工作单位】 中国科学院上海微系统与信息技术研究所;
【所在地域】 上海
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[1]陶凯;俞跃辉;郑智宏;邹世昌;.离子束增强沉积法制备二氧化铪薄膜[J]半导体技术.2006,(03)
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