郑志宏
【姓名】 郑志宏
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;工业通用技术及设备;物理学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 SOI结构,低剂量注水,注入能量,择优取向,铪膜,退火,辅助沉积,离子束,CeO2薄膜,氧化铪,离子束辅助沉积,CeO_2,离子束增强沉积,埋层,SOI材料,碳膜,抑制电子发射,电子束蒸发,XTEM,...
【工作单位】 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
【曾工作单位】 中国科学院上海微系统与信息技术研究所;
【所在地域】 上海
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[1]宋朝瑞;程新红;张恩霞;邢玉梅;俞跃辉;郑志宏;沈勤我;张正选;王曦;.氮元素对高k铪基介电薄膜总剂量抗辐射性能的影响研究[J]核技术.2007,(08)
[2]江炳尧,任琮欣,郑志宏,柳襄怀,樊会明,姚刘聪,李玉涛,苏小保.离子束辅助沉积铪薄膜晶粒的择优取向[J]中国有色金属学报.2003,(06)
[3]金波,李炜,郑志宏,王曦.电子束蒸发沉积制备高度晶体取向的CeO_2薄膜[J]功能材料与器件学报.2004,(01)
[4]柳襄怀,朱宏,任琮欣,郑志宏,徐静芳,陈树德.离子束增强沉积碳膜及其在抑制电子发射中的应用[J]核技术.2004,(05)
[5]宋朝瑞,俞跃辉,邹世昌,郑志宏.离子束增强沉积氮化铝薄膜的电绝缘性能研究[J]压电与声光.2004,(06)
[6]邢玉梅,陶凯,俞跃辉,郑志宏,杨文伟,宋朝瑞,沈达身.在SOI材料上制备高质量的氧化铪薄膜[J]功能材料.2004,(06)
[7]邢玉梅,俞跃辉,陈可炜,郑志宏,杨文伟.CH_4+Ar混合等离子体注入新工艺[J]压电与声光.2005,(03)
[8]蒋军;江炳尧;郑志宏;任琮欣;冯涛;王曦;柳襄怀;邹世昌;.离子束辅助沉积铪膜抑制栅电子发射性能研究[J]功能材料.2005,(11)
[9]王向晖,柳襄怀,张峰,李昌荣,俞柳江,郑志宏,王曦,徐静芳,陈安清,蒋振斌.人工心脏瓣膜材料的抗凝血性能和使用安全性研究[J]中国科学E辑:工程科学 材料科学.2005,(03)
[10]陈静,王湘,董业民,郑志宏,陈猛,王曦.低能低剂量注水形成SOI结构材料的研究[J]功能材料与器件学报.2002,(02)
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