董林玺
【姓名】 董林玺
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;自动化技术;金属学及金属工艺;
【研究方向】 高分辨率微机械传感器的结构设计、模拟及其制作
【发表文献关键词】 电容式传感器,惯性传感器,可靠工作范围,阶跃信号,微机械传感器,电容极板,加速度信号,电容传感器,力反馈,驱动方式,信号电压,可动电极,力平衡,质量块,极限位置,运动速度,结构,反馈电压,梳齿,变化曲...
【工作单位】 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
【曾工作单位】 中国科学院上海微系统与信息技术研究所;
【所在地域】 上海
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[1]李豪;郑梦萍;董林玺;.工艺误差对盘式耦合谐振滤波器的影响[J]传感技术学报.2018,(03)
[2]董林玺;俞权;包金艳;陶家平;.Analysis of reliability factors of MEMS disk resonator under the strong inertial impact[J]Journal of Semiconductors.2014,(07)
[3]董林玺;李永杰;颜海霞;孙玲玲;.Characteristics of a novel biaxial capacitive MEMS accelerometer[J]半导体学报.2010,(05)
[4]董林玺;焦继伟;颜海霞;孙玲玲;.新型磁驱动增大检测电容的高精度MEMS惯性传感器研究[J]电子学报.2010,(05)
[5]董林玺,孙玲玲,车录锋,王跃林.梳齿的不平行对电容式微机械传感器阶跃信号响应的影响[J]传感技术学报.2005,(03)
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